HVA 真空閥門應(yīng)用于E-Beam 鍍膜機(jī)

某品牌sputtering + e-beam pvd鍍膜機(jī)系統(tǒng)采用hva真空閥門11000, hva真空閥門安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時(shí)外系統(tǒng)停機(jī)時(shí)不破壞系統(tǒng)真空,只要對(duì)泵內(nèi)部進(jìn)行破真空即可.
e-beam鍍膜機(jī)設(shè)備組成:系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室,電子,進(jìn)樣室(可選) ,旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái),工作氣路,抽氣系統(tǒng),真空測(cè)量,電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成.
基片在做實(shí)驗(yàn)**般需要做鍍前預(yù)處理,鍍前預(yù)處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面,為后獲得高質(zhì)量鍍層作準(zhǔn)備,要進(jìn)行脫脂,去銹蝕,去灰塵等工作,也有客戶在loadlock腔進(jìn)行射頻反應(yīng)清洗,通過(guò)使用上海伯東kri離子源將基片的表層打掉,得到光滑和均勻的表面.
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